Pracownia mikroelektroniki [0800-PMIKRO]
Semestr letni 2019/20
Laboratorium,
grupa nr 1
Przedmiot: | Pracownia mikroelektroniki [0800-PMIKRO] |
Zajęcia: |
Semestr letni 2019/20 [2019/20L]
(zakończony)
Laboratorium [LAB], grupa nr 1 [pozostałe grupy] |
Termin i miejsce:
|
każdy poniedziałek, 8:00 - 13:00
sala PFPMikro Wydział Fizyki, Astronomii i Informatyki Stosowanej - Instytut Fizyki jaki jest adres? |
Terminy najbliższych spotkań:
Kliknij w datę by zobaczyć tygodniowy plan z zaznaczonym spotkaniem. |
Wszystkie zajęcia tej grupy już się odbyły - pokaż terminy wszystkich spotkań. |
Liczba osób w grupie: | 9 |
Limit miejsc: | 15 |
Zaliczenie: | Zaliczenie na ocenę |
Prowadzący: | Karol Strzałkowski, Anna Zawadzka |
Literatura: |
1. C.Kittel - „Wstęp do fizyki ciala stałego” 2. J.Pankove - „Zjawiska optyczne w półprzewodnikach” 3. G. I. Jepifanow - „Fizyczne podstawy mikroelektroniki” 4. T. Figielski - „Zjawiska nierównowagowe w półprzewodnikach” 5. J. Hennel - „Podstawy elektroniki półprzewodnikowej” 6. A. Kawski, A. Kubacki - „Aparatura i metody badań luminescencji” 7. W. Marciniak „Przyrządy półprzewodnikowe i układy scalone” Warszawa WNT 1984r. 8. K. W. Szalimowa „Fizyka półprzewodników” Warszawa PWN 1974r. 9. P. S. Kiriejew „Fizyka półprzewodników” Warszawa PWN 1976r. 10. N. F. Kowtoniuk, J. A. Koncewoj "Pomiary parametrów materiałów półprzewodnikowych" Warszawa PWN 1973r. 11. T. Figielski „Zjawiska nierównowagowe w półprzewodnikach” Warszawa PWN 1980r. 12. M. A. Herman „Heterozłącza półprzewodnikowe” Warszawa PWN 1989r. 13. J.Groszkowski „ Zagadnienia wysokiej próżni” 14. J.Groszkowski „ Technologia wysokiej próżni” 15. A. Oleś „Metody doświadczalne fizyki ciała stałego” |
Zakres tematów: |
Tematy ćwiczeń: 1. Technologia warstw i struktur epitaksjalnych. a. struktury MIS, b. metoda naparowywania próżniowego, c. dip-coating. 2. Wykonywanie kontaktów w strukturach półprzewodnikowych i ich badanie. a. metoda przytapiania, b. metoda naparowywania, 3. Wytwarzanie i obróbka kryształów półprzewodnikowych: a. metoda Bridgmana-Stockbargera, b. szlifowanie, polerowanie i trawienie otrzymanych kryształów. 4. Widma absorpcji i transmisja (spektrofotometr UV-VIS) 5. Luminescencja cienkich warstw i kryształów. a. fotoluminescencja I(T), b. elektroluminescencja I(T), c. termiczne gaszenie luminescencji. 6. Badanie własności termicznych metodami piroelektrycznymi: a. wyznaczanie termicznej dyfuzyjności i efuzyjności, b. zależności termicznej przewodności od składu. 7. Fotoprzewodnictwo cienkich warstw i kryształów. a. charakterystyki widmowe, b. stałe czasowe, c. wyznaczanie energii pułapek metodą niestacjonarnego przewodnictwa (PICT). 8. Spektroskopia defektów z głębokimi stanami metodami złączowymi. a. metoda niestacjonarnej pojemności (DLTS), b. metoda termicznie stymulowanej pojemności. 9. Fotopojemnościowe badanie struktur. a. zmiana pojemności w funkcji długości fali, b. wyznaczanie optycznych przekrojów czynnych, c. zależności C(T) przy różnych oświetleniach. 10. Przewodnictwo zmiennoprądowe. a. zależności G(f), C(f), b. zależności G(T), C(T). 11. Wyznaczanie koncentracji i ruchliwości nośników. a. przewodnictwo stałoprądowe, b. efekt Halla, c. efekt foto-Halla. 12. Widma odbicia i transmisji cienkich warstw, struktur wielowarstwowych i kryształów. a. metody stacjonarne b. metody modulacyjne 13. Badanie półprzewodników w podczerwieni. a. widma odbicia w podczerwieni b. widma transmisji w podczerwieni 14. Widma wzbudzenia cienkich warstw i kryształów. 15. Optoelektronika. a. pryzmaty sprzężone |
Metody dydaktyczne: |
Metody dydaktyczne poszukujące: doświadczalna, laboratoryjna, obserwacji oraz projektu |
Metody i kryteria oceniania: |
Metody oceniania: Zaliczenie na podstawie oceny realizacji zadań praktycznych. Nauczyciel weryfikując realizację zadania sprawdza realizację efektów przedmiotowych: W1, W2, W3, W10, U1, U2, U3,U6, K1, K2, K3, K4 Kryteria oceniania: Realizacja każdego zadania praktycznego jest oceniana oceną cząstkową w skali od 2 do 5. Na ocenę wpływa przede wszystkim ocena z odpowiedzi ustnej oraz stopień realizacji zadania tzn. ile podzadań przewidzianych do realizacji w ramach danego zadania zostało zrealizowane oraz w jakim stopniu wymagania postawione przez prowadzącego zostały spełnione. Ponadto pod uwagę brane jest przygotowanie sprawozdania oraz wiedza z zakresu realizowanego zadania (np. znajomość zagadnień niezbędnych do poprawnej realizacji zadania). Ocena końcowa jest wyznaczana na podstawie średniej arytmetycznej ocen cząstkowych (innych niż 2): 3.0 – 3.4 – dst 3.41 – 3.8 – dst+ 3.81 – 4.2 – db 4.21 – 4.6 – db+ 4.61 – 5.0 – bdb Do uzyskania pozytywnej oceny konieczne jest uzyskanie pozytywnych ocen (innych niż 2) ze wszystkich zadań. |
Uwagi: |
Fizyka Techniczna s2, rok I, sem. 1, specj.: Opto- i mikroelektronika, przedmiot specjalistyczny do wyboru dla: Fizyka s2, specj. fizyka doświadczalna, |
Właścicielem praw autorskich jest Uniwersytet Mikołaja Kopernika w Toruniu.